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ASML正式出貨NXT2000i光刻機

來源: 上海網(wǎng)站建設(shè)    發(fā)布日期: 2018-08-09 15:42    點擊量: 20437
ASML將于本季度末開始量產(chǎn)Twinscan NXT:2000i,價格未披露。目前,NXE:3400B EUV光刻機的報價是1.2億美元一臺,傳統(tǒng)的ArF沉浸式光刻機(14nm節(jié)點)報價是7200萬美元之間, NXT:2000i肯定是在這兩者之間了。
光刻機霸主ASML(阿斯麥)已經(jīng)開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i雙工件臺深紫外光刻機),可用于7nm和5nm節(jié)點。NXT:2000i將是NXE:3400B EUV光刻機的有效補充,畢竟臺積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝。

同時,NXT:2000i也成為了ASML旗下套刻精度(overlay)最高的產(chǎn)品,達到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求執(zhí)照2.4nm,7nm要求至少3.5nm)。


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